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超大幅面激光蚀刻机

型号:SC-K2100


行业应用:应用于100寸超大尺寸工业教学用电阻、电容式触摸屏银浆、ITO、各类金属导电膜、太阳能光伏硅基板薄膜等产品的蚀刻工艺

机器优点

激光蚀刻为干式蚀刻,加工制程简单,所有加工均由软件自动控制,产品一致性高,良率高达99%;

最小蚀刻线宽20μm,支持银浆线路和ITO一次性同时蚀刻,轻松实现单层多点电容屏传感器线路蚀刻;

支持CCD视觉自动寻靶,一次性可加工2850mm×1300mm范围,拼接精度≤±5mm,非常适合大屏幕银浆或导电氧化物薄膜线路蚀刻;

支持多种视觉定位特征,500万像素单点抓靶时间小于1s,克服了印刷变形过大导致激光蚀刻偏位的问题,定位精度≤±3μm;

激光蚀刻机5万小时无耗材,免维修,使用成本低,替代黄光制程。

规格参数
光学单元
序号项目参数
01激光器类型1064nm(纳秒&皮秒)可选
02激光功率20W-50W可选
03光束质量M²<1.3
04聚焦方式&加工头数平场聚焦镜、单头/双头
06最小聚焦光斑直径Φ15μm
激光加工性能
序号项目参数
01加工速度1000-4000mm/s
02最小蚀刻线宽20μm
03蚀刻线宽精度
±1.5μm
04最大工作范围2.85m*1.3m任意自动拼接
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