采用皮秒或者飞秒激光器，超短脉冲加工几乎无热传导，适于任意有机/无机材料的高速切割，最小3μm的崩边和热影响区；
CCD视觉预扫描&自动抓靶定位，最大加工范围650mm×450mm，XY平台精度≤±3μm；
支持多种视觉定位特征，如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等；
实现自动裂片清洗，视觉检测分拣，机器人自动上下料；
支持多种视觉定位特征，如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等；
12年激光微细加工系统研发技术积淀、世界一线品牌关键零组件选型，连续7×24小时无故障工作，实际产能更高。
| 光学单元 | ||
|---|---|---|
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 01 | 激光器类型 | 355、532、1064nm可选10ps |
| 02 | 冷却方式 | 恒温水冷 |
| 03 | 激光功率 | 10-100W |
| 04 | 光束质量 | M²＜1.3 |
| 05 | 加工头数 | 单点&平场聚焦镜、双头 |
| 06 | 最小聚焦光斑直径 | Φ3-15μm |
| 激光加工性能 | ||
|---|---|---|
| 序号 | 项目 | 参数 |
| 01 | 加工速度 | ≤120mm/s |
| 02 | 最小崩边 | 3μm |
| 03 | 最大加工材料厚度 | 2mm |
| 04 | 最大加工尺寸&精度 | 12inches，±5μm |
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