采用超快紫外飞秒激光加工，切割热影响小
采用数字振镜高速扫描切割
Inline/Online架构均可定制
采用高精度视觉CCD双级定位，实现精准切割，以及检查激光打孔的位置精度、切割热影响HAZ等边沿效果，避免切割造成的不良
| 序号 | 项目 | 参数 |
|---|---|---|
| 01 | 产品尺寸 | 3-8” |
| 02 | 激光器功率 | 30W |
| 03 | 切割精度 | ±30μm |
| 04 | 激光器类型 | 紫外飞秒 |
| 05 | 切割热影响 | ＜30μm |
| 06 | 设备TT | 4.5S |
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